مولدات ميكروويف بالحالة الصلبة

تأهيل مصدر الميكروويف وفق العملية

في تطبيقات الميكروويف الصناعي والبلازما وPECVD يجب مطابقة المصدر مع العملية لا اختياره على القدرة الاسمية فقط. وقد تتطلب بعض التطبيقات تشغيل 2.45 GHz أو 915 MHz.

تردد التشغيل ونطاق الضبط · تشغيل CW أو نبضي · القدرة الأمامية ونطاق التحكم · متطلبات التضمين أو النبض · السلوك مع القدرة المنعكسة · التبريد · واجهة التحكم والاتصالات · الحمل أو المطبق أو عملية البلازما · استبدال المغنطرون أو التكامل في نظام جديد