قدرة ميكروويف بالحالة الصلبة لعمليات PECVD
هندسة وتنسيق الموردين لمصدر ميكروويف نبضي بتردد 2.45 غيغاهرتز وقدرة 6 كيلوواط.
التحدي
تطلب المشروع مصدر ميكروويف بالحالة الصلبة لعملية PECVD بتردد 2.45 غيغاهرتز، وقدرة خرج مستهدفة تبلغ 6 كيلوواط وتشغيل نبضي. تمثل التحدي في تحويل احتياجات العملية إلى مواصفات متناسقة للمولد والحماية والتكامل.
ما أنجزناه
أنجزنا المتطلبات التقنية، وقارنّا المولدات الكاملة بمراحل تضخيم مجمعة، وحددنا الواجهات بين المولد ومعدات العملية. شمل العمل جمع القدرة والتبريد والحماية من القدرة المنعكسة والمراقبة والتشابكات الوقائية. حصل فريق المعدات على بنية متناسقة ومواصفات للموردين تخص النظام الفرعي للميكروويف.
ما متطلبات تطبيقك؟
شاركنا متطلبات التشغيل والواجهات والقيود.