Halbleiter-Mikrowellenleistung für PECVD
Engineering und Lieferantenkoordination für eine gepulste Mikrowellenquelle mit 2,45 GHz und 6 kW.
Die Herausforderung
Gefordert war eine Halbleiter-Mikrowellenquelle für PECVD bei 2,45 GHz mit einem Leistungsziel von 6 kW und gepulstem Betrieb. Die Herausforderung bestand darin, die Prozessanforderungen in eine abgestimmte Spezifikation für Generator, Schutzfunktionen und Integration zu übersetzen.
Unser Ergebnis
Wir erstellten die technische Spezifikation, verglichen komplette Generatoren mit kombinierten Verstärkerstufen und definierten die Schnittstellen zum Prozess. Die Arbeit umfasste Leistungskombination, Kühlung, Schutz vor reflektierter Leistung, Überwachung und Verriegelungen. Das Anlagenteam erhielt eine abgestimmte Architektur und Lieferantenspezifikation für das Mikrowellensubsystem.
Was braucht Ihre Anwendung?
Beschreiben Sie Betriebsanforderungen, Schnittstellen und Randbedingungen.