Halbleiterfertigung
Mikrowellenleistung und Elektronik für Plasma-, Beschichtungs- und Anlagen zur Verarbeitung moderner Werkstoffe.
Produkte für Ihre Anwendung
Dabei unterstützen wir Sie
- Halbleiter-Mikrowellenarchitektur für PECVD und Plasmaerzeugung.
- Leistungskombination, Schutz vor reflektierter Leistung und Kühlanforderungen.
- Fertigungsanfragen zu modernen Halbleitern und zweidimensionalen Materialien.