Puissance micro-ondes à l’état solide pour la PECVD
Ingénierie et coordination des fournisseurs pour une source micro-ondes pulsée de 2,45 GHz et 6 kW.
Le défi
Le projet nécessitait une source micro-ondes à semi-conducteurs pour PECVD à 2,45 GHz, avec un objectif de puissance de 6 kW et un fonctionnement pulsé. Le défi était de traduire les besoins du procédé en spécifications cohérentes pour le générateur, les protections et l’intégration.
Ce que nous avons réalisé
Nous avons livré le cahier des charges technique, comparé des générateurs complets à des étages amplificateurs combinés et défini les interfaces avec le procédé. Le travail a couvert la combinaison de puissance, le refroidissement, la protection contre la puissance réfléchie, la supervision et les interverrouillages. L’équipe a reçu une architecture coordonnée et les spécifications destinées aux fournisseurs du sous-système micro-ondes.
Quels sont les besoins de votre application ?
Présentez les conditions de fonctionnement, les interfaces et les contraintes.