Potenza a microonde a stato solido per PECVD
Ingegneria e coordinamento dei fornitori per una sorgente a microonde pulsata da 2,45 GHz e 6 kW.
La sfida
Il progetto richiedeva una sorgente a microonde a stato solido per PECVD, a 2,45 GHz, con un obiettivo di potenza di 6 kW e funzionamento pulsato. La sfida era tradurre le esigenze del processo in specifiche coerenti per il generatore, le protezioni e l’integrazione.
Cosa abbiamo realizzato
Abbiamo predisposto le specifiche tecniche, confrontato generatori completi e soluzioni con stadi amplificatori combinati, e definito le interfacce con il processo. Il lavoro ha coperto combinazione della potenza, raffreddamento, protezione dalla potenza riflessa, monitoraggio e interblocchi. Il team ha ricevuto un’architettura coordinata e le specifiche da condividere con i fornitori del sottosistema a microonde.
Di cosa ha bisogno la tua applicazione?
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