PECVD向けの半導体マイクロ波電源
2.45 GHz・6 kWのパルスマイクロ波源に関する設計とサプライヤー調整。
課題
PECVD向けに、周波数2.45 GHz、出力目標6 kW、パルス動作の固体マイクロ波源が求められました。プロセスの要件を、発生器、保護機能、統合に関する一貫した仕様へ落とし込むことが課題でした。
提供した成果
技術仕様書を作成し、完成品の発生器と増幅段を合成する構成を比較して、プロセスとのインターフェースを定義しました。電力合成、冷却、反射電力保護、監視、インターロックを整理し、装置チームにマイクロ波サブシステムの統合アーキテクチャとサプライヤー向け仕様を提供しました。
どのような用途をお考えですか？
動作要件、インターフェース、制約条件をお聞かせください。