産業用マイクロ波
加熱、乾燥、プラズマ、材料加工向けの制御可能な半導体RF電源。
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用途に合う製品
マイクロ波発生器・システム
RFパワーアンプ
RF・マイクロ波
支援できる領域
完成品ジェネレーターとモジュール式増幅器の選択肢。
マグネトロンから半導体方式へ移行する際の統合検討。
RF伝送、冷却、制御、保守の要件。
関連する取り組み
2.45 GHz・6 kW PECVD
半導体マイクロ波への移行