PECVD용 고체 상태 마이크로파 전원
2.45 GHz, 6 kW 펄스 마이크로파 소스의 엔지니어링 및 공급업체 조정.
프로젝트 과제
PECVD 공정을 위한 2.45 GHz 고체 마이크로파 소스가 필요했으며, 목표 출력은 6 kW, 운전 방식은 펄스였습니다. 공정 요구사항을 발생기, 보호 기능 및 통합에 관한 일관된 사양으로 구체화하는 것이 과제였습니다.
제공한 결과
기술 요구서를 작성하고 완성형 발생기와 증폭기 결합 구성을 비교한 뒤, 발생기와 공정 사이의 인터페이스를 정의했습니다. 전력 결합, 냉각, 반사 전력 보호, 모니터링과 인터록을 정리해 장비팀에 일관된 마이크로파 하위 시스템 아키텍처와 공급업체용 사양을 제공했습니다.
어떤 응용 분야를 계획하고 계신가요?
운영 요구사항, 인터페이스 및 제약 조건을 알려주세요.