用于PECVD的固态微波电源
面向2.45 GHz、6 kW脉冲微波源的工程设计与供应商协调。
项目挑战
项目要求为PECVD提供固态微波源，工作频率为2.45 GHz，目标输出功率为6 kW，支持脉冲运行。挑战在于将工艺需求转化为统一的发生器、保护与集成技术规格。
交付成果
我们完成了技术需求书，对比了完整发生器与多级放大器合成方案，并定义了发生器与工艺设备之间的接口。工作覆盖功率合成、冷却、反射功率保护、监控与联锁，为设备团队交付了协调一致的微波子系统架构及供应商技术规格。
您的应用需要什么？
请提供运行要求、接口与约束条件。